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国内首台晶圆自动翻转倒片机成功研发 突破国产

12月20日消息 据北京商报报道,近日,北京京仪自动扮设置设备摆设技巧有限公司颠末多年探索,成功研发出海内首台晶圆自动翻转倒片机,破解了国产晶圆自动翻转倒片机自动化难题。

据悉,晶圆倒片机是用来调剂集成电路产线上晶圆临盆材料序列位置的一款设备,它的义务是将产线上的晶圆经由过程制程必要进行分批、合并、翻转落后行下一道法度榜样,这就要求晶圆倒片机拥有极高的传送效率和干清程度。

今朝,京仪设置设备摆设研发的首台晶圆自动翻转倒片机已经在上海集成电路研发中间获获成功利用。早期型号倒片机则已经在中芯国际、长江存储等多家企业获得利用。

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